아날로그 및 혼성신호 반도체 플랫폼 솔루션의 설계 및 제조 전문기업인 매그나칩반도체(대표이사 김영준, NYSE:MX)는 100V 고전압의 0.18micron BCD(Bipolar-CMOS-DMOS) 공정을 제공한다고 밝혔다. 이번 새로운 BCD 공정은 이전 세대에 비해 여러 부분에서 장점을 지니고 있어 주목된다.
새로운 BCD 공정은 최적화를 통해, 종전보다 3Layer의 Photo Step을 줄였을 뿐 더러, 전력 LDMOS(Laterally Diffused Metal Oxide Semiconductor)의 최대 100V까지의 낮은 Rsp(Specific On-Resistance)을 가지고 있다. 현재 PoE(Power-over-Ethernet), AC-DC 충전기, 태양광 패널 전력 IC, 자동차 배터리 시스템 등 다양한 어플리케이션에 100V까지의 작동 전압 및 보호 전압에 대한 수요가 증가하는 추세에 있어, BCD 공정에 100V 소자를 포함하는 것이 큰 이점이 된다. 또한 이번 공정은 전장급(차량용 사용 가능 수준) 신뢰도의 DC-DC 컨버터, LED 드라이버, 모터 드라이버, 배터리 충전기와 차량 전자기기용 PMIC에도 적용된다.
BCD 기술을 사용하는 전력 IC에서 LDMOS와 같은 전력 트랜지스터가 주요 칩 제품 영역을 차지하고 있다. 전력 트랜지스터의 Rsp(트랜지스터가 켜져 있을 때, 총 On-Resistance와 소자 영역으로 정의 됨)는 전체 칩 영역을 결정하는 핵심 요소다. 매그나칩은 지난 10년간, 특화된 아날로그 파운드리 서비스 업체로서 파운드리 고객들이 더 작은 칩을 더욱 낮은 가격에 활용할 수 있도록 Rsp를 개선해 왔다. 매그나칩의 독점적인 Deep-Trench Isolation 기술과 첨단 소자 디자인 역량을 통해, 100V 동작 LDMOS의 낮은 Rsp는 더 비싼 SOI(Silicon-In-Insulator) 기판을 사용하지 않고, 기존의 실리콘 기판 위에 바로 구현이 가능하다. 이 같은 공정상의 이점을 통해, 새로운 0.18micron BCD 100V 고전압 공정은 고객 제품의 비용 효율성을 향상 시킬 수 있게 되었다.
이번 공정 기술은 -40℃에서 125℃ 사이의 전장급 품질인증 기준 AEC-Q100의 Grade1 온도조건을 충족해, 차량용 어플리케이션뿐 아니라 소비자, 산업용 등 다양한 어플리케이션에 사용되는 전력 IC를 지원 할 수 있는 품질 인증도 획득했다.
디자인 통합과 유연성을 높이기 위한 옵션 소자로, 고성능 Bipolar transistor, 고저항 Poly Resistor, 저온계수(low temperature coefficient) Tantalum Nitride Resistor, Metal-Insulator-Metal Capacitor, Metal-Oxide-Metal Capacitor, Electrical Fuse와 Multi-Time Programmable Memory 등이 새로운 0.18micron BCD 공정과 함께 제공된다.
매그나칩 김영준 대표이사는 “고성능과 높은 신뢰성을 갖춘 0.18micron 100V BCD 공정을 제공하게 된 것을 매우 기쁘게 생각한다.”며, “매그나칩의 목표는 파운드리 고객을 위해, 다양한 어플리케이션에 적용 가능한 높은 성능과 신뢰성의 기술을 지속적으로 개발하는 것”이라고 말했다.
